mWL.cs机电卡洛特装载机问世

该公司深厚的专业知识和专有技术为制造商提供了安全可靠的系统,能够轻松可靠地处理非标准基材。

一种完全自动化的独立系统,用于在磁带和卡洛特之间转移晶片mWL.cs为集成设备制造商(IDMs)提供了一个在高产量下提高产量和改进过程可追溯性的机会。

蒸发工艺工具经常使用球形载体和环来满足均匀性和缺陷目标。然而,这些工具的设计使得在这一制造过程中引入自动晶圆处理具有挑战性。

idm总是默认手动装入晶圆,这导致良率下降和增加错误处理的风险。

蒸发式金属沉积上、卸晶片系统的自动化是一个具有很大潜力的步骤。

通过消除等式中的人为误差,该系统使制造商能够获得更高的产量,并减少对晶圆的损坏。

增强的过程可追溯性也支持质量改进措施,以满足关键客户行业的符合性要求。

mWL.cs机电卡洛特装载机的主要特点包括:

  • 优越的处理精度和重复性-转换位置测量和自动教学能力(<50µm)
  • 改进工艺可追溯性-晶圆ID、盒ID、段ID和段内位置的主机通知
  • 冗余- 2个加载区域,用于连续处理
  • 令人印象深刻的传输时间-高达240 wph的高吞吐量,使投资回报率在两年内
  • 双尺寸处理-可定制处理4 ",6 ",8 ",或6 " & 8 "(双尺寸)
  • 占地面积小,不足7米2

作为非标准基板和处理要求的全自动处理系统的专家,机电识别并解决半导体行业对处理现代新晶圆制造技术中使用的超敏感基板的需求。

该公司深厚的专业知识和专有技术为制造商提供了安全可靠的系统,能够轻松可靠地处理非标准基材。

分享: